ペリクル異物検査装置 XET-PELLICLE

ペリクルマスク製造における出荷前の最終チェックを可能とする、
「ペリクル異物検査装置 XET-PELLICLE」を開発しました。
高性能簡単操作低価格を実現いたしました。

  • 9インチマスクのペリクル内部/上部の異物を検出!
  • 150mm×150mm(分解能力1.2μm)を約7分で検査
  • カラー検査により高性能欠陥検出
  • 省フットプリント(本体サイズ790mm×740mm)
  • 簡単操作
  • 低価格

 

XET-P

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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